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通過共聚焦顯微測量技術實現高真空度環境下柵極腐蝕的在線實時測量，可以有效避免重復抽放真空對柵極設備壽命的影響問題，同時極大提高了柵極腐蝕檢測的速度和精度，測量精度可達到0.008mm，為柵極壽命試驗提供精準詳細的數據支持。
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