近年來,中美兩國之間的摩擦多次見諸報端,尤其在進出口貿易、5G等領域爭鋒相對。在5G領域中,華為的技術突破讓其成為眾矢之的。美國意圖通過政治手段打壓中國在5G領域的領先地位,也不甘把4G時代的霸主地位拱手相讓。類似的事件在歷史上曾多次出現,結果卻是迎來了自有技術的蓬勃發展。中國沒有垮掉,反而一次一次突破了封鎖。除了手機芯片外,中國在工業級別芯片上的進步也是有目共睹的,這也得益于中國持續不斷的對于芯片產業的規劃和投入。
在整個芯片制造中,晶圓是芯片的重要原材料,航天智造(上海)科技有限責任公司(以下簡稱航天智造)從單晶硅生產流程中的物流上下料方向進行拓展,目前已應用單晶硅截取下料agv、單晶硅取晶車。
同時,航天智造著力從韓國引入三星供應鏈晶圓生產關鍵技術,結合上海交通大學、南京航空航天大學進行產學研的應用,對加速我司對第三代半導體材料及器件研發和相關產業發展具有重要意義,利用自身在物流、裝配、檢測、控制、清洗等領域的工程經驗進行拓展性的分析和研究總結出了幾款涉及多個生產步驟的工藝設備,聚焦晶圓生產關鍵技術,把握第三代半導體產業發展機遇。
單晶硅拉晶生產流程
單晶原料清洗
類型:高壓沖水型、超聲波型;
適用原料:邊皮、圓棒、尖頭等;
清洗產能:2T/h;
清洗質量:無水漬、無白斑。
單晶原料破碎篩選
類型:破碎分選線,篩選機;
適用原料:邊皮、圓棒、尖頭等;
用途:控制顆粒度。
自動配料配送系統
類型:自動配料系統;
適用原料:破碎料,粉料等;
用途:精確控制各組分配比,通過AGV自動送到對應工位。
截斷下料AGV
類型:AGV;
適用原料:截斷后的短料。
功能:尋棒找中、夾取、編碼、導航、調度、MES通信等,每車8根;
長棒抓取方案
類型:半自動型、AGV型;
適用原料:長棒;
用途:提升、旋轉、夾抱、導航、調度、編碼功能、稱重等。
電性能檢測線
類型:檢測線;
適用原料:短棒等;
主要功能:讀碼、測長、稱重、激光打碼、少子壽命檢測、電阻率檢測、不良判別與分揀、合格品分級、MES通信等。
開方上下料系統
類型:輸送系統;
適用原料:圓棒,方棒等;
組成: 桁架式三坐標機械手+緩存線+調度系統;
用途:產品分級和定機臺配送、MES通信等。
磨倒上下料系統
類型:輸送系統;
適用原料:圓棒,方棒等;
組成:AGV+桁架式三坐標機械手+緩存線+調度系統;
用途:產品分級和定機臺配送、MES通信等。
方棒成品檢測線
類型:外觀尺寸檢測線;
適用原料:成品單晶棒等;
用途:外形尺寸檢測精度0.01mm, MES通信;
節拍:優于10S。
同時,航天智造也針對單晶硅生產領域中系統自動化控制進行改良更新,通過生產線現場增加監測傳感器,利用高頻數采專用網關,將大量現場過程數據、環境數據采集到控制平臺,現場工程師根據工藝特點,創新開發出各種提升現場效率、質量、設備預測的算法模型,模型經過現場訓練和驗證,有效提升品質、降低不良、停機導致的損失。航天智造將持續助力半導體行業晶圓生產,為半導體行業的蓬勃發展貢獻力量。